假母臺(tái)(False Center)也被稱為假中心，是指在車削加工時(shí)，在工件未定位之前，用來(lái)支撐工件的臨時(shí)中心。其目的是為了保持加工過程中工件的穩(wěn)定性。可以用來(lái)支撐一個(gè)非旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的工件，即使在加工重型工件時(shí)也不會(huì)對(duì)機(jī)床中的真正頭部造成壓力或損壞。使用它進(jìn)行車削可以減少生產(chǎn)時(shí)間并提高精度。這是因?yàn)楣ぜ梢愿行У毓潭ㄔ诤侠淼奈恢蒙线M(jìn)行車削。
一般情況下，將其安裝在車床尾部的軸套上。然后，把工件放置在擺動(dòng)中心上，并用夾子夾住以確保它能夠旋轉(zhuǎn)。接下來(lái)，通過調(diào)節(jié)滑動(dòng)裝置的位置來(lái)移動(dòng)工件，并同時(shí)檢查其是否居中。開始進(jìn)行車削操作。
假母臺(tái)可支持直徑為2英寸、4英寸、6英寸和8英寸等多個(gè)規(guī)格的晶圓，兼容不同尺寸的片環(huán)和夾具；能夠?qū)A進(jìn)行微小的位移和彎曲以便滿足各種加工需求，同時(shí)它也提供了高精度的定位和轉(zhuǎn)動(dòng)控制，并且在控制程序中可以設(shè)置多種不同形式復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)軌跡；經(jīng)過多項(xiàng)安全性和穩(wěn)定性測(cè)試，保證在使用中不會(huì)發(fā)生意外損壞事故。此外，采用了控制系統(tǒng)，具有自動(dòng)故障檢測(cè)和診斷功能。
在半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域中，它是一種非常重要的設(shè)備。它的主要作用是在晶圓制造過程中提供定位和轉(zhuǎn)動(dòng)控制。此外，在芯片廠商和測(cè)試機(jī)構(gòu)中，假母臺(tái)還可用于對(duì)芯片進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析和特性測(cè)試。例如，可以對(duì)芯片中的電路板、元器件尺寸、瑕疵以及功能等內(nèi)容進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量分析。這些數(shù)據(jù)可為工程師提供有價(jià)值的參考信息，以便優(yōu)化整個(gè)芯片制造流程并提高制造效率和質(zhì)量。
假母臺(tái)保養(yǎng)方法：
1.在使用前應(yīng)先清除灰塵和污垢，防止進(jìn)入零部件內(nèi)。
2.適當(dāng)使用防銹劑對(duì)其進(jìn)行防銹處理、切勿讓產(chǎn)品氧化污染。
3.工作完畢后，應(yīng)將拆開清洗，涂上潤(rùn)滑油以保證其順暢地運(yùn)動(dòng)。
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